中证报中证网讯(王珞)12月10日,华海清科官微披露,公司自主研发的12英寸减薄抛光一体机Versatile-GP300累计出机量突破20台。这一发展里程碑,不仅体现了该装备卓越的技术性能与稳定的量产能力获得市场高度认可,更标志着国产高端半导体装备在3D IC、先进封装等关键工艺领域实现了从技术突破到规模化应用的重要跨越,为产业发展注入强劲动力。 华海清科介绍,减薄抛光一体机的成功是公司坚持自主创新、攻克关键工艺的缩影。公司自2021年首台装备出机发往客户端,到2023年量产机台的顺利交付,再到如今的出机量突破20台,其凭借颠覆性的创新设计,将磨削减薄、化学机械抛光(CMP)与清洗模块一体化集成,实现了从装备结构、控制系统到工艺集成的全方位突破,不仅显著提升了减薄精度与工艺稳定性,更解决了复